蓝宝石光学元件
SAPPHIRE
蓝宝石是一种极佳的材料，适用于受氟自由基影响的半导体设备组件。Gavish提供由三种形式的蓝宝石制成的设备组件，从蚀刻气体输送管到光学窗口的各种应用皆能满足。这些制造技术，结合优秀的加工和表面处理技术，使其能够提供最佳的组件设计和形状。产品特点
- 抵抗来自工艺气体的氟自由基，延长零件的使用寿命。
- 高抗压强度的升降针可降低断裂和振动。
- 高硬度可降低微粒生成，营造更干净的工艺环境。
- 高温性能确保操作温度超过1000℃（1832℉），适用于半导体处理应用，如快速热处理。
- 优异的光学透射性，能在红外至紫外波长范围内使用，扩展应用领域。
Product:
■ Coated & Metallized Optics
■ Sapphire Tubes & Injectors
■ Custom Fabricated Sapphire
■ Sapphire Rods & Lift Pins
