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英特格 磁盘制程盒
英特格(Entegris)的制程盒可与48 mm,0.63 mm(2“,0.025”)至95 mm,1.27 mm(3.75“,0.05”)的碟盘搭配,并在下部位置装有紧固件,以减少碟盘倾斜。
藉由弯曲磁盘接触区块,径向磁盘触点可更好地密合磁盘。当载体和磁盘浸没在液体中时,磁盘的导引模式是有助于将磁盘“引导”到具有V形特征的插槽中,此种插槽可降低倾斜。
Disk Process Carriers
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