VAT 高真空钟摆式控制阀

VAT HV Pendulum Control Valve

产品特色

• HV
• 专为半导体和显示器面板生产系统设计，为下游压力控制和隔离设定了新标准，可在宽电导范围内提供最高水平的可控性。
• 65.3默认运动顺序可适应个别和不断变化的工艺参数，透过改进其集成位置控制的电动机，驱动控制器以更高的32位数据处理能力(IC2+CPA)促进更强大的过程可控性、可用性，能极快速、精确地控制摆阀的每个位置。
• 闸门的优化非常顺畅，阻尼关闭运动避免了传统阀门常见的冲击振动，确保了往复运动中的非接触式气流控制以及密封运动中所有区域的均匀气密密封，实现无冲击操作、无粒子激活、无颗粒释放性能。
• 即插即用构造，无需拆卸或对齐

CLOSED

CONTROL POSITION

OPEN

Optically Closed

Leak Tight Closed