VAT 高真空钟摆阀

VAT HV Pendulum Valve

产品特色

• HV
• 透过异常平滑的低震动开关运动实现出色的低粒子计数、低粒子活化性能，极低的释气残留(RGA)。
• 16.2是半导体应用等严苛腐蚀工艺隔离需求的理想选择，大型16.8钟摆阀特别适合大型表面沉积涂布或FPD生产等大流量隔离应用。
• 特殊的分体式设计，无需拆卸管道连接，维护方便快速。
• 纤薄的设计允许直接安装到工艺腔室中，节省了腔室 - 阀门 -泵连接中通常需要的体积