VAT 高真空矩形传输阀

VAT HV Transfer Valve

产品特色

• HV
• 专利MONOVAT智能结构技术，将密封件硫化到阀座上，确保密封持久可靠，低颗粒释放并减少放气。
• 特殊软启动关闭机构最大限度减少机械冲击，适用于半导体200、300mm晶圆生产中负载锁定及腔体隔离。
• 可选配液体冷却散热机制，可升级UHV超高压等级。