VAT 超高真空闸阀

VAT UHV Gate Valve

产品特色

• UHV
• 10.8闸阀系列配备以VAT专利VATLOCK技术，专为保证不会在板上产生摩擦而设计，提供可靠的密封，不含润滑剂可避免颗粒释放污染风险。
• 通过金属阀盖密封和波纹管密封馈通以及硫化板密封实现超高真空性能，坚固的不锈钢外壳可耐温至250 °C。
• 关闭位置中的特殊登录机制，保障了漏电隔离与阀门故障安全疑虑。
• 带有电磁阀可作为板载解决方案或外部安装，提供各种执行器电磁阀选项(标准电压为24 VDC)
• 模块化设计可轻松整合至任何UHV超高真空系统标准，常用于真空泵前端的涡轮及低温泵隔离，在半导体、FPD、表面沉积涂布、科技研发应用中展现卓越的性能

VATLOCK 原理

VATLOCK Open

VATLOCK Closed